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| (ULPA는 Ultra Low Penetration Air의 약칭입니다) |
| (1) ULPA Filter 표준형의 특징 |
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① 계수법(DOP) 0.1㎛ 입자의 99.9995% 이상의 포집효율을 지니고 있습니다.
② Clean room class 10 이하에 적용
③ 내산성, 내식성을 향상한 Frame 구조로 되어 있습니다.
④ 반도체, 정밀산업 등에 슈퍼크린룸에 적용되는 휠타입니다.
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| (2) 재질 및 사용조건 |
구
성
재
료 |
Media |
Glass Fiber |
| Frame |
Aluminum + Alumite |
| 분리대(Separator) |
ALUMINUM, PAPER |
| 마감재(Sealant) |
Poly-Urethane |
| Gasket |
Neoprene, EPDM |
| 최고사용온도(℃) |
120 |
| 최고사용습도(RH%) |
100 |
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| (3) 기술자료 |
| 품번(Model) |
규격(mm)
(W × H × T) |
정격풍량(CMM) |
압력손실 |
집진효율(%) |
| 초기 |
말기 |
| MUS-661 |
610×610×150 |
17 |
25.4이하 |
50.8이하 |
99.997%이상
(0.1㎛ D.O.P) |
| MUS-671 |
610×762×150 |
21 |
| MUS-691 |
610×915×150 |
26 |
| MUS-662 |
610×610×292 |
14 |
| MUS-672 |
610×762×292 |
28 |
| MUS-692 |
610×915×292 |
28 |
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| Ⅱ. MINI-PLEAT ULPA Filter |
| (1) MINI-PLEAT ULPA Filter 표준형의 특징 |
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① 초경량, 박형, 저압손형
② 설치공간을 최소화하여 매우 경제적입니다.
③ 내산성, 내식성을 향상한 Frame 구조로 되어 있습니다.
④ Media의 보호망 적용으로 필터의 손상방지 합니다.
⑤ 반도체, 정밀산업 등에 슈퍼 크린룸에 적용되는 휠타입니다.
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| (2) 재질 및 사용조건 |
구
성
재
료 |
Media |
Glass Fiber |
| Frame |
Aluminum + Alumite |
| 분리대(Separator) |
Aluminium & Kraft Paper |
| 마감재(Sealant) |
Poly-Urethane |
| Gasket |
Neoprene, EPDM |
| 최고사용온도(℃) |
60 |
| 최고사용습도(RH%) |
100 |
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| (3) 기술자료 |
| 품번(Model) |
규격(mm)
(W × H × T) |
정격풍량(CMM) |
압력손실 |
집진효율(%) |
| 초기 |
말기 |
| MUM-635 |
610×305×50 |
5 |
20 |
40 |
99.997%이상
(0.1㎛ D.O.P) |
| MUM-665 |
610×610×50 |
11 |
| MUM-615 |
610×1220×50 |
22 |
| MUM-636 |
610×305×65 |
5 |
15 |
30 |
| MUM-666 |
610×610×65 |
11 |
| MUM-616 |
610×1220×65 |
22 |
| MUM-636 |
610×305×80 |
5 |
12 |
24 |
| MUM-666 |
610×610×80 |
11 |
| MUM-616 |
610×1220×80 |
22 |
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| Ⅲ. MINI-PLEAT Super ULPA Filter 고온형 |
| (1) MINI-PLEAT ULPA Filter 표준형의 특징 |
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① 계수법(DOP) 0.1㎛ 입자의 99.999999%의 포집효율을 지니고 있습니다.
② 설치공간을 최소화하여 매우 경제적입니다.
③ 초박형이며, 저압손형입니다.
④ Class 1 이하의 반도체 공정에 적용되는 휠타입니다.
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| (2) 재질 및 사용조건 |
구
성
재
료 |
Media |
Glass Fiber |
| Frame |
Aluminum + Alumite |
| 분리대(Separator) |
Aluminium & Kraft Paper |
| 마감재(Sealant) |
Poly-Urethane |
| Gasket |
Neoprene, EPDM |
| 최고사용온도(℃) |
60 |
| 최고사용습도(RH%) |
100 |
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| (3) 기술자료 |
| 품번(Model) |
규격(mm)
(W × H × T) |
정격풍량(CMM) |
압력손실 |
집진효율(%) |
| 초기 |
말기 |
| MUSM-636 |
610×305×65 |
4.5 |
19 |
30 |
99.999999%이상
(0.1㎛ D.O.P) |
| MUSM-666 |
610×610×65 |
10 |
| MUSM-616 |
610×1220×65 |
20 |
| MUSM-636 |
610×305×80 |
4.5 |
17 |
30 |
| MUSM-666 |
610×610×80 |
10 |
| MUSM-616 |
610×1220×80 |
20 |
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| Ⅳ. 표준형 HEPA Filter와 표준형 ULPA Filter의 차이점 |
| 항 목 |
HEPA Filter |
ULPA Filter |
| 성능 |
효율 |
0.09~0.11 |
99.91% |
99.9994% |
| 0.17~0.21 |
99.95% |
99.9997% |
| 0.24~0.35 |
99.992% |
99.99995% |
| 압력손실 |
기준풍속
0.3 m/sec |
7.0 mmAq |
7.5 mmAq |
기준풍속
0.5 m/sec |
12.0 mmAq |
12.6 mmAq |
기준풍속
0.87 m/sec |
21.5 mmAq |
22.1 mmAq |
재질
사양 |
형 식 |
Cell Type |
Cell Type |
| 표준규격 |
610×610×150t(292t) |
610×610×150t(292t) |
| 여재(Media/Filter) |
Micro Glass Fiber |
Micro Glass Fiber |
| Separator |
Aluminum |
Aluminum |
| Sealant |
Poly Urethane Resin |
Poly Urethane Resin |
| Frame |
Ply Wood / Particle Board |
Poly Urethane ResinAluminum |
| Gasket |
Neoprene Sponge |
Neoprene Sponge |
기준
(표준)
사양 |
효 율 |
0.3 |
0.1 |
| 풍 량 |
17 m3/min |
17 m3/min |
| 압력손실 |
25.4 mmAq |
25.4 mmAq |
| Scan test |
전면 0.010% 이하 |
전면 0.002% 이하 |
| 최고사용온도 |
120℃ |
120℃ |
| 최고사용습도 |
100 RH% |
100 RH% |
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